XPS- und Auger-Analyse

JEOL JPS-9030 Photoelektronen-Spektrometer

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JEOL JPS-9030 Photoelektronen-Spektrometer

Das JPS-9030 ist mit einer neu entwickelten Bedienungssoftware ausgestattet, wodurch die Funktionsfähigkeit weiter verbessert wurde. Ebenso überzeugt das neue JPS-9030 durch sein weiterentwickeltes, modernes und ansprechendes Design.

Merkmale

  1. Anwendungsoptimierte Tiefenprofilierung
    Die neu entwickelte Kaufman-Ionenquelle ermöglicht Ätzraten von 1 nm/min bis 100 nm/min (SiO2) und lässt sich anwendungsspezifisch sowohl für hohe Abtragsraten als auch für hoch-präzisen Abtrag anpassen. Da die Kaufman-Ionenquelle auf der Probenschleuse angebracht ist, wird die Kontamination der Messkammer vermieden.

  2. Neu entwickelte Software für deutlich vereinfachte Bedienung
    Die neue Software SpecSurf Ver. 2.0 bietet aufgrund ihrer neuen Grafik-Oberfläche mit Multifunktionsleiste eine noch benutzerfreundlichere Umgebung, in der alle Operationen einfach, schnell und effizient durchgeführt werden können. Mit der automatischen qualitativen Analysefunktion ist es möglich, quantitative und qualitative Bindungszustands-Analysen sequenziell an mehreren Messpunkten durchzuführen.

  3. Höchste Oberflächenempfindlichkeit
    Das JPS-9030 unterstützt Techniken wie winkelaufgelöste XPS (ARXPS) und Total Reflection XPS (TRXPS). Zugleich ermöglicht das Gerät hochempfindliche Analysen von Oberflächen in einer Tiefe von nur 1 nm (Standard-Messmethode 6 nm oder mehr).

Spezifikationen

Intensität
(Mg Kα, 300W equivalent)

≥1.000.000 cps (bei Ag 3d5/2 FWHM von 1,0 eV)

Röntgen-Quelle

Mg/Al-Doppelanode

Linsen-System

Zylindrische elektrostatische Linse

Energie-Analysator

Elektrostatischer Halbkugelanalysator

Analysator-Betriebsmodi

CAE (Constant Analyzer Energy) und CRR (Constant Retard Ratio)

Detektor

Mikrokanalplatte

Ionen-Quelle

Kaufman-Quelle

Basis-Druck

≤7×10-8 Pa

Bake-Out-System

Automatisch kontrollierte, eingebaute Heizspirale

Optionen

  • monochromatische Röntgenquellen
  • Argon-Gas Cluster-Ionen-Quelle für organische Proben
  • Infrarot-Heizsystem für Temperaturen von über 1000°C
  • Inertes Proben-Transfersystem

Bitte beachten Sie:

Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

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