Rasterelektronenmikroskope (REM)

JEOL JSM-7610FPlus Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

Produkt
Merkmale
Spezifikationen
Bilder
Info

JSM-7610FPlus Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

Das neue, höchstauflösende Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop JSM-7610FPlus ermöglicht die Analyse von extrem feinen Strukturen.

Merkmale

  • Durch das Semi-Immersions-Objektiv erzielt das JSM-7610FPlus selbst bei niedrigen Beschleunigungsspannungen und hohen Arbeitsabständen höchste Auflösungen.
  • Im GENTLEBEAM™-Modus werden Elektronen oberhalb der Probe durch ein elektrisches Feld abgebremst. Dieser Modus eignet sich ideal für die hochaufgelöste Abbildung und Analyse bei niedrigen Spannungen.
  • Dank patentiertem Energiefilter ist die flexible In-Lens-Abbildung von Sekundär- und Rückstreuelektronen einfach wie nie.
  • Mit Hilfe des LABE-Detektors (Low-Angle-Rückstreuelektronen) können niederenergetische Rückstreuelektronen unter kleinen Winkeln und niedrigen Arbeitsabständen detektiert werden. Während bei niedrigen Beschleunigungsspannungen detaillierte topografische Informationen gewonnen werden können, kann bei höheren Beschleunigungsspannungen die Materialzusammensetzung untersucht werden.
  • Die In-lens-Schottky-Feldemissionselektronenquelle liefert höchste Probenströme mit hoher Stabilität. Zusätzlich optimiert die Öffnungswinkel-Kontrolllinse (ACL) den Durchmesser des Elektronenstrahls automatisch über den gesamten Probenstrombereich und ermöglicht damit höchste Auflösung bei analytischen Arbeitsbedingungen.
  • Durch die neu konzipierte Probenschleuse können selbst große Proben schnell und sicher gewechselt werden.
  • Das JSM-7610FPlus kann mit zahlreichen Analysesystemen ausgestattet werden, darunter EDX, WDX, CL und weitere Detektoren.

Spezifikationen

Auflösung

0,8 nm (Beschleunigungs­spannung 15 kV)
1,0 nm (Beschleunigungs­spannung 1 kV GB Modus)
Analytik: 3,0 nm (Beschleunigungs­spannung 15 kV, WD 8 mm, Probenstrom 5 nA)

Vergrößerung

×25 bis 19,000 (LM Modus)
×130 bis 1,000,000 (SEM Modus)

Beschleunigungs­spannung

0,1 bis 30 kV

Probenstrom

wenige pA bis ≥ 200 nA

Elektronen­quelle

In-lens Schottky-Feldemissionsquelle

Proben­bühne

Voll-motorisierte, euzentrische Probenbühne

Proben­schleuse

Serienmäßige, große Schleuse mit patentiertem One-Action-System

Detektor­system

In-Lens-Detektor mit integriertem Filter, Everhart-Thornley-Detektor, opt. LABE-Detektor, STEM-Detektor und weitere

Bitte beachten Sie:

Technische Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Alle im Text aufgeführten Markennamen sind eingetragene Warenzeichen der Hersteller.

Kontaktformular

Gerne beantworten wir kostenlos und unverbindlich Ihre Fragen und beraten Sie bei anstehenden Projekten.
Übermitteln Sie uns bitte Ihre Daten mit dem nachfolgend aufgeführten Kontaktformular (* = Pflichtfeld).

Diese Webseite verwendet Cookies. Durch die Nutzung der Webseite stimmen Sie der Verwendung von Cookies zu. Datenschutzinformationen