Focused Ion Beam Systeme

JEOL JIB-4700F Mehrstrahl-System

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JEOL JIB-4700F Mehrstrahl-System

Fortschritte in den Materialwissenschaften und in den Life Sciences verlangen immer höhere Anforderungen an die bildgebenden, analytischen und präparativen Möglichkeiten moderner Focused-Ion-Beam-Systeme (FIB). Das neue Mehrstrahlsystem JEOL JIB-4700F ist eine ideale Plattform für sämtliche Fragestellungen von der morphologischen, chemischen bis hin zur kristallographischen Analyse verschiedenster Proben. Für höchsten Probendurchsatz sorgen neben der großen, serienmäßigen Probeschleuse vor allem die leistungsfähigen Elektronen- und Ionen-Emitter. Mit einem hohen Elektronenstrom von über 300nA können sehr schnelle Verteilungsbilder der Elementzusammensetzung (EDX) und Kristallrichtungen (EBSD) aufgenommen werden. Selbst bei niedrigen Anregungsspannungen wird durch den hohen Strom eine schnelle Analytik und durch das GentleBeam-System und die In-Lens-Detektoren eine hohe laterale Auflösung gewährleistet.

Das Mehrstrahlsystem JIB-4700F verfügt zudem serienmäßig über Software für die korrelative Mikroskopie und für die dreidimensionale Rekonstruktion von Proben durch sukzessives Schneiden und Aufnehmen von Abbildungen.

Merkmale

  1. Höchstauflösende Abbildung
    Eine garantierte Auflösung von 1,6 nm bei einer niedrigen Beschleunigungsspannung von 1 kV wird durch eine hybride, feldfreie Objektivlinse, den GentleBeam-Modus (Gegenfeld) und In-lens-Detektion garantiert.

  2. Kurze Analysezeit
    Der InLens-Schottky-Emitter mit hoher Lebensdauer erzeugt einen intensiven und stabilen Probenstrom für schnellste Analytik. Durch ein patentiertes Linsensystem wird der Strahl selbst bei hohen Strömen und niedrigen Anregungsspannungen auf extrem kleine Durchmesser gebündelt. Dies garantiert lateral höchstaufgelöste Analytik über den gesamten Spannungsbereich.

  3. Schneller Probenabtrag
    Die JEOL-eigene Hochleistungs-Ga-Ionenstrahlsäule ermöglicht eine schnelle Bearbeitung der Proben durch einen Strom von bis zu 90nA.

  4. Flexibles Detektionssystem
    Dem Anwender stehen 4 Kanäle für die simultane Darstellung und Mischung der Detektorsignale zur Verfügung.

  5. Vielseitigkeit
    Die JIB-4700F kann individuell auf sämtliche applikativen Herausforderungen angepasst werden, beispielsweise mit EDX- und EBSD-Detektoren sowie Kryo- und Inert-Transfersystemen.

  6. 3D-Abbildung und -Analytik
    Die 3-dimensionale Proben-Rekonstruktion ist durch sequentielle Aufnahme von Abbildungen und analytischen Informationen ohne das Verfahren der Probenbühne möglich.

  7. Kompatible Transferlösungen
    Für die Herstellung von TEM-Lamellen können die TEM-Grids auf einem Retainer fixiert werden, der sowohl in JEOL-TEM-Haltern als auch im FIB-Halter einfach eingesetzt werden kann. Dadurch können Lamellen schnell und effizient im FIB-System präpariert, mittels STEM abgebildet und analysiert werden und dann in ein JEOL-TEM transferiert werden.

  8. Korrelative Mikroskopie
    Mittels der Picture-Overlay-Software können Abbildungen aus Lichtmikroskopen, REMs und TEMs intuitiv und einfach zur Navigation im FIB-System verwendet werden.

Spezifikationen

SEM

Beschleunigungs­spannung

0,1 bis 30,0kV

Laterale Auflösung

1,2nm (15kV, GB-Modus)
1,6nm (1kV, GB-Modus)

Vergrößerung

x20 bis 1,000,000
(LDF-Modus für große Schärfentiefe serienmäßig)

Strahlstrom

1pA bis 300nA

Detektor (*: optional)

LED, UED, USD*, BED*, TED*, EDS*

Probenbühne

Motorisierte, 6-Achsen-Bühne
X: 50mm, Y: 50mm, Z: 1,5 bis 40mm, R: 360°, T: -5 bis 70°, Fein-Z: -3,0 bis +3,0mm

FIB

Beschleunigungs­spannung

1 bis 30kV

Laterale Auflösung

4,0nm (30kV)

Vergrößerung

x50 bis 1,000,000

Strahlstrom

1pA bis 90nA

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